伺服電機：微米級的龍門滾珠絲杠傳動，高精度的檢測和校正系統(tǒng)

背景：目前需要做一個龍門結(jié)構(gòu)的設備，利用伺服電機+THK研磨滾珠絲杠+THK直線導軌傳動,，運動尺寸XY分別為1米x1米左右,。需要保證兩根X軸的平行度、X和Y的垂直度,。對X軸雙驅(qū)而言,，運動負載90KG左右。

項目要求運動的重復精度需要達到微米級,，運動速度達到300mm/s,。

（直線電機由于成本和空間的原因，被直接否決了,。）

需求：不知道有沒有什么高精度的檢測和校正系統(tǒng),，需要怎么設計？

有了伺服電機,，所以光柵尺定位也被否決了,。一開始考慮用千分表慢慢打表，但因為跨度很大,，安裝的工裝可能會變形,。激光測距也沒有使用過。

有沒有大神指點指點??？比如什么書籍推薦、供應商推薦,、方法推薦之類的都行,。

社友觀點

最高精度等級的大理石平臺，最高等級的絲杠導軌,，分辨率最高的光柵尺,，高分辨率的西門子伺服電機，剛性聯(lián)軸器,，高水平鉗工,，所有這些都是必需的條件，但是也未必能做到微米精度,，你這個雙驅(qū)更不現(xiàn)實,，增加了同步控制難度，最好單驅(qū),。

你們這個微米精度是誰提出來的,？這么高精度。

ID：丹楓911

系統(tǒng)上要做成全閉環(huán)系統(tǒng),，如果只是伺服電機只是半閉環(huán)系統(tǒng),，不是真正的全閉環(huán),，全閉環(huán)必須上伺服電機+光柵尺，結(jié)構(gòu)上用大理石,，橫梁要輕量化,，要雙驅(qū)。

一般1m長的導軌的平行度也就是可以做到0.01,，要達到微米級的精度光靠機械結(jié)構(gòu)是做不到的,，所以要用激光干涉儀打精度做補償。

不知道你的運動方式是怎樣的,，如果是點對點的話,，那就5mm間隔做補償，最重要的是系統(tǒng)和算法,，國產(chǎn)機床為什么比不上德國和日本的,，主要原因還是補償算法做不好，以及系統(tǒng)響應速度慢,，高精度的機床都是高速算法+高速響應才能做好補償?shù)摹?/p>

ID：hxglty

驗證重復性的方法可以使用千分表試試,，但是這個也是虛的不是準確的，目前比較好的驗證方法就是激光干涉儀驗證,。

這里要說明一下真要達到微米級重復精度要求的企業(yè)必定會上更高的儀器設備做驗證,。

樓主這個方案精度要求肯定需要用到全閉環(huán)反饋尺，要不就是只是提出要求實際未必是這個要求,，順便給樓主介紹一下磁柵尺,，重復精度1μm。

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